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紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

簡要描述:紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

  • 產(chǎn)品型號:Gasboard-2060
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2025-05-27
  • 訪  問  量:1140

詳細介紹

紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號:Gasboard-2060


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

(1)使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應(yīng)時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數(shù)字通信

(5)模塊化設(shè)計,便于集成


紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)


檢測原理NDIR
檢測氣體SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm








應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測


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